Une équipe de recherche de Singapour, dirigée par le professeur agrégé Dawn Tan de l'Université de technologie et de design de Singapour (SUTD) et le Dr Luo Xianshu, chef du département de photonique sur silicium de l'Institut de microélectronique A*STAR (A*STAR IME), a développé un guide d'ondes en nitrure de silicium à faible perte qui génère une lumière à large bande sur une puce. En remplaçant l'hydrogène par son isotope plus lourd, le deutérium, l'équipe a fabriqué le guide d'ondes SiN à faibles pertes sur une tranche de 8 pouces en utilisant un processus à basse température, démontrant ainsi son potentiel de fabrication à grande échelle et son intégration avec des processus de semi-conducteurs compatibles CMOS.